اعلي-پاڪيشن گيس پائپنگ ٽيڪنالاجي اعلي-پاڪيشن گيس جي فراهمي جي نظام جو هڪ اهم حصو آهي، جيڪا گهربل اعلي-پاڪيشن گيس کي استعمال جي نقطي تائين پهچائڻ ۽ اڃا به قابل معيار کي برقرار رکڻ لاء اهم ٽيڪنالاجي آهي؛اعلي پاڪائي گئس پائپنگ ٽيڪنالاجي ۾ سسٽم جي صحيح ڊيزائن، سامان ۽ لوازمات جي چونڊ، تعمير ۽ تنصيب، ۽ ٽيسٽ شامل آهن.تازن سالن ۾، وڏي پيماني تي مربوط سرڪٽ جي نمائندگي ڪندڙ مائڪرو اليڪٽرانڪس پروڊڪٽس جي پيداوار ۾ اعلي خالص گيس جي پاڪائي ۽ ناپاڪ مواد تي وڌندڙ سخت ضرورتن کي اعلي پاڪائي گيس جي پائپنگ ٽيڪنالاجي کي وڌيڪ ڌيان ۽ زور ڏنو آهي.هيٺ ڏنل مواد جي چونڊ کان اعلي-پاڪ گئس پائپنگ جو مختصر جائزو آهيof تعمير، گڏوگڏ قبوليت ۽ روزاني انتظام.
عام گئسن جا قسم
اليڪٽرانڪس انڊسٽري ۾ عام گيس جي درجه بندي:
عام گيس(بلڪ گيس): هائيڊروجن (H2)نائيٽروجن (اين2)، آڪسيجن (O2آرگن (اي2) وغيره.
خاص گيسSiH آهن4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,ايڇ سي ايل,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, بي سي ايل3 ,SIF4 ,سي ايل ايف3 ,CO,C2F6, N2O,F2,ايڇ ايف,HBR SF6…… وغيره
خاص گيس جي قسمن کي عام طور تي corrosive طور درجه بندي ڪري سگهجي ٿوگيس، زهريلوگيس، ٻرندڙگيس، ٻرندڙگيس، بيڪارگيسوغيره. عام طور تي استعمال ٿيندڙ سيمي ڪنڊڪٽر گيسس کي عام طور تي هيٺين ريت ورهايو ويو آهي.
(i) زهريلو/ زهريلوگيس: HCl، BF3، WF6، ايڇ بي آر، سي ايڇ2Cl2، اين ايڇ3، پي ايڇ3، ڪل2، بي سي ايل3... وغيره
(ii) flammabilityگيس: ايڇ2، سي ايڇ4، سي ايڇ4، پي ايڇ3، ايس ايڇ 3، سي ايڇ2Cl2، بي2H6، CH2F2,سي ايڇ3F، CO... وغيره.
(iii) جلندڙگيس: اي2، ڪل2، اين2او، اين ايف3… وغيره
(iv) بيڪارگيس: ن2، سي ايف4، سي2F6، سي4F8,ايس ايف6، CO2، ني، ڪر، هي... وغيره.
ڪيتريون ئي سيمي ڪنڊڪٽر گيسون انساني جسم لاءِ نقصانڪار آهن.خاص طور تي، انهن مان ڪجهه گيس، جهڙوڪ SiH4 spontaneous combustion، جيستائين هڪ لڪير هوا ۾ آڪسيجن سان پرتشدد رد عمل ظاهر ڪندي ۽ جلڻ شروع ڪندي؛۽ ايس ايڇ3انتهائي زهريلي، ڪنهن به معمولي رسي انساني زندگي جي خطري جو سبب ٿي سگهي ٿو، اهو انهن واضح خطرن جي ڪري آهي، تنهنڪري سسٽم جي ڊيزائن جي حفاظت جي گهرج خاص طور تي اعلي آهي.
گيس جي درخواست جي گنجائش
جديد صنعت جي هڪ اهم بنيادي خام مال جي طور تي، گئس جون شيون وڏي پيماني تي استعمال ڪيون وينديون آهن، ۽ عام گيس يا خاص گيس جو هڪ وڏو تعداد دھات، فولاد، پيٽروليم، ڪيميائي صنعت، مشينري، اليڪٽرانڪس، شيشي، سيرامڪس، تعميراتي مواد، تعميرات ۾ استعمال ٿيندو آهي. فوڊ پروسيسنگ، دوائون ۽ طبي شعبا.گئس جي درخواست خاص طور تي انهن شعبن جي اعلي ٽيڪنالاجي تي هڪ اهم اثر ڇڏيو آهي، ۽ ان جي ناگزير خام مال گئس يا پروسيس گيس آهي.صرف مختلف نون صنعتي شعبن ۽ جديد سائنس ۽ ٽيڪنالاجي جي ضرورتن ۽ واڌاري سان، گيس انڊسٽري جون پروڊڪٽس مختلف قسم، معيار ۽ مقدار جي لحاظ سان ترقي ڪري سگهن ٿيون.
microelectronics ۽ semiconductor صنعت ۾ گئس جي درخواست
گيس جو استعمال هميشه سيميڪنڊڪٽر جي عمل ۾ اهم ڪردار ادا ڪيو آهي، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر پروسيس کي مختلف صنعتن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويو آهي، روايتي ULSI، TFT-LCD کان وٺي موجوده مائڪرو اليڪٽررو-مڪينيڪل (MEMS) صنعت تائين، سڀني جي. جيڪي پروڊڪٽس جي پيداوار جي عمل جي طور تي نام نهاد سيمي ڪنڊڪٽر عمل کي استعمال ڪن ٿا.گيس جي پاڪائي اجزاء ۽ پيداوار جي پيداوار جي ڪارڪردگي تي فيصلو ڪندڙ اثر آهي، ۽ گئس جي فراهمي جي حفاظت عملي جي صحت ۽ پلانٽ جي عملن جي حفاظت سان لاڳاپيل آهي.
اعلي پاڪائي گئس ٽرانسپورٽ ۾ اعلي پاڪائي پائپنگ جي اهميت
اسٽينلیس سٹیل پگھلڻ ۽ مواد ٺاهڻ جي عمل ۾، اٽڪل 200 گرام گئس في ٽين جذب ڪري سگھجي ٿي.اسٽينلیس سٹیل جي پروسيسنگ کان پوءِ، نه رڳو ان جي مٿاڇري مختلف آلودگيءَ سان چپڪي ٿي، پر ان جي ڌاتوءَ جي لٽڪيءَ ۾ به گئس جي هڪ خاص مقدار جذب ٿي.جڏهن پائپ لائن ذريعي هوا جو وهڪرو هوندو آهي، ته ڌاتو گئس جي هن حصي کي جذب ڪري ٿو، هوا جي وهڪري ۾ ٻيهر داخل ٿيندي، خالص گئس کي آلودگي ڪندي.جڏهن ٽيوب ۾ هوا جو وهڪرو مسلسل وهڪري ۾ هوندو آهي، ته ٽيوب گئس کي دٻاءَ هيٺ جذب ڪندي آهي، ۽ جڏهن هوا جو وهڪرو گذرڻ بند ٿي ويندو آهي، ته ٽيوب ذريعي جذب ٿيل گئس حل ڪرڻ لاءِ پريشر ڊراپ ٺاهيندي آهي، ۽ حل ٿيل گئس پڻ ٽيوب ۾ خالص گئس ۾ داخل ٿيندي آهي. نجاست جي طور تي.ساڳئي وقت، جذب ۽ ريزوليوشن کي بار بار ڪيو وڃي ٿو، جنهن جي ڪري ٽيوب جي اندرئين سطح تي ڌاتو پڻ هڪ خاص مقدار ۾ پاؤڊر پيدا ڪري ٿو، ۽ اهو ڌاتو مٽي ذرات پڻ ٽيوب جي اندر خالص گئس کي آلودگي ڪري ٿو.ٽيوب جي اها خصوصيت ٽرانسپورٽ ٿيل گيس جي پاڪائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ ضروري آهي، جنهن لاءِ نه رڳو ٽيوب جي اندرئين سطح جي تمام گهڻي نرمي جي ضرورت آهي، پر هڪ اعلي لباس مزاحمت پڻ.
جڏهن گئس مضبوط corrosive ڪارڪردگي سان استعمال ڪيو ويندو آهي، corrosion-مزاحمتي stainless اسٽيل پائپ پائپنگ لاء استعمال ڪيو وڃي.ٻي صورت ۾، پائپ جي اندرين سطح تي سنکنرن جي ڪري corrosion spots پيدا ڪندو، ۽ سنگين صورتن ۾، اتي هڪ وڏو علائقو دھاتي پٽي يا سوراخ پڻ هوندو، جيڪو ورهائڻ واري خالص گيس کي آلوده ڪندو.
وڏي وهڪري جي شرح جي اعلي پاڪائي ۽ اعلي صفائي گئس ٽرانسميشن ۽ تقسيم پائپ لائنن جو ڪنيڪشن.
اصولي طور تي، اهي سڀئي ويلڊ ٿيل آهن، ۽ استعمال ٿيل ٽيوبن جي ضرورت هوندي آهي ته تنظيم ۾ ڪابه تبديلي نه هجي جڏهن ويلڊنگ لاڳو ٿئي ٿي.مواد جنهن ۾ ڪاربان جو مقدار تمام گهڻو هوندو آهي اهي ويلڊنگ جي وقت ويلڊ ٿيل حصن جي هوا جي پارگميتا جي تابع هوندا آهن، جيڪا پائپ جي اندر ۽ ٻاهر گيس جي باهمي دخول کي يقيني بڻائي ٿي ۽ منتقل ٿيل گيس جي پاڪائي، خشڪي ۽ صفائي کي تباهه ڪري ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ گيس جو نقصان ٿئي ٿو. اسان جون سڀ ڪوششون.
خلاصو، اعلي پاڪائي گئس ۽ خاص گيس ٽرانسميشن پائيپ لائين لاء، اهو ضروري آهي ته اعلي پاڪائي واري اسٽينلیس سٹیل جي پائپ جو هڪ خاص علاج استعمال ڪيو وڃي، اعلي خالص پائيپ لائين سسٽم ٺاهڻ لاء (بشمول پائپ، فٽين، والوز، VMB، VMP) اعلي پاڪائي گئس جي ورڇ هڪ اهم مشن تي قبضو ڪري ٿو.
ٽرانسميشن ۽ تقسيم پائپ لائنز لاء صاف ٽيڪنالاجي جو عام تصور
پائپنگ سان انتهائي خالص ۽ صاف گيس جي باڊي ٽرانسميشن جو مطلب آهي ته گئس جي ٽن حصن جي منتقلي لاءِ ڪي خاص ضرورتون يا ڪنٽرول آهن.
گيس پاڪائي: گيس جي پاڪائي ۾ ناپاڪ ماحول جو مواد: گيس ۾ ناپاڪ ماحول جو مواد، عام طور تي گيس جي خالصيت جي سيڪڙو طور تي ظاهر ڪيو ويو آهي، جهڙوڪ 99.9999٪، پڻ ظاهر ڪيو ويو آهي حجم تناسب جي ناپاڪ ماحول جي مواد پي پي ايم، پي پي بي، ppt
خشڪي: گيس ۾ نمي جي نشان جي مقدار، يا مقدار کي نمي سڏيو ويندو آهي، عام طور تي اوس جي نقطي جي لحاظ سان ظاهر ڪيو ويندو آهي، جهڙوڪ فضائي دٻاء اوس پوائنٽ -70.سي.
صفائي: گيس ۾ موجود آلودگيءَ وارن ذرڙن جو تعداد، ذرن جي ماپ µm، ظاهر ڪرڻ لاءِ ڪيترا ذرڙا/M3، دٻيل هوا لاءِ، عام طور تي ان لحاظ سان به ظاهر ڪيو ويندو آهي ته ڪيترا mg/m3 ناگزير سڪل رهجي ويا آهن، جيڪي تيل جي مواد کي ڍڪيندا آهن. .
آلودگي واري سائيز جي درجه بندي: آلودگي جا ذرات، خاص طور تي پائپ لائن جي اسڪورنگ، لباس، ڌاتو جي ذرات، ماحول جي ڪڪڙ جي ذرات، گڏوگڏ مائڪروجنزم، فيز ۽ نمي تي مشتمل گئس ڪنڊينسيشن بوندن وغيره، ان جي ذرات جي سائيز جي ماپ مطابق. ۾ ورهايل آهي
a) وڏا ذرڙا - ذرات جي ماپ 5μm کان مٿي
ب) ذرو - مادي قطر 0.1μm-5μm جي وچ ۾
ج) الٽرا-مائڪرو ذرڙا - ذرات جي ماپ 0.1μm کان گھٽ.
ھن ٽيڪنالاجي جي ايپليڪيشن کي وڌائڻ لاء، ذھن جي سائيز ۽ μm يونٽن کي سمجھڻ جي قابل ٿيڻ لاء، مخصوص ذري جي حيثيت جو ھڪڙو سيٽ حوالن لاء مهيا ڪيو ويو آھي.
هيٺ ڏنل مخصوص ذرات جو مقابلو آهي
| نالو / ذرات جي ماپ (µm) | نالو / ذرات جي ماپ (µm) | نالو/ ذرات جي ماپ (µm) |
| وائرس 0.003-0.0 | ايروسول 0.03-1 | ايروسولائيز مائڪروڊروپليٽ 1-12 |
| ايٽمي ٻارڻ 0.01-0.1 | رنگ 0.1-6 | فلائي ايش 1-200 |
| ڪاربن ڪارو 0.01-0.3 | کير پائوڊر 0.1-10 | جراثيم 5-10 |
| رال 0.01-1 | بيڪٽيريا 0.3-30 | سيمينٽ مٽي 5-100 |
| سگريٽ نوشي 0.01-1 | سٽي مٽي 0.5-5 | پولن 10-15 |
| سلڪون 0.02-0.1 | جراثيم 0.5-10 | انساني وار 50-120 |
| ڪرسٽل ٿيل لوڻ 0.03-0.5 | مرڪوز سلفر مٽي 1-11 | سمنڊ جي ريت 100-1200 |
پوسٽ جو وقت: جون-14-2022