سيمڪسوڊولٽر جي بناوٽ ۾، گيسس سڀ ڪم ۽ ليزرز تمام ڌيان حاصل ڪندا آهن. جڏهن ته ليسزرز ايچ ٽرانزٽر سلڪون، ايٽچز ۾ سلڪون جيڪي پهرين سلڪون کي جمع ڪري ڇڏيندا آهن ۽ مڪمل سرڪٽ ٺاهڻ لاء ليزر کي ٽوڙي ڇڏيندا آهن. اهو حيران ڪندڙ نه آهي ته اهي گئسون، جيڪي گهڻائي اسٽيج پروسيس ذريعي مائڪرو پروسيسنگن کي ترقي ڏيڻ لاء استعمال ڪيون وينديون آهن، جيڪي گهڻائي پاڪائي آهن. ان حد کان وڌيڪ، انهن مان ڪيترائي ٻيا خدشا ۽ محدود آهن. ڪجهه گئسون روزوينڪ آهن، ٻيا به سنوروس آهن، ۽ اڃا ٻيا تمام گهڻو زهريلا آهن.
سڀني ۾، اهي حدون سيمڪنڊيٽرڪ صنعتڪار صنعتڪار صنعتڪار صنعت جي صنعت جي ورڇ جو ڪافي چئلينج ٺاهيندا آهن. مادي وضاحتون تقاضا آهن. مواد جي وضاحتن کان علاوه، هڪ گئس جي تقسيم واري صف جو هڪ پيچيده اليڪٽرڪ برقي برقي بنيادي آهي. اهي ماحول جنهن ۾ اهي گڏ ڪيا ويا آهن پيچيده ۽ اوورلوپنگ آهن. فائنل فائنل اسٽوريج جي عمل جي حصي طور سائيٽ تي ٿيندي آهي. اورابياتي سولڊرنگ کي گئس جي تقسيم جي تقاضا جي اعلي وضاحت کي گئس جي تقسيم جي اعلي وضاحت ڏيڻ دوران، مشڪل، مشڪل ماحول کي وڌيڪ منظم بڻائڻ ۾ مدد ڏيندو آهي.
سيمڪنڊيٽر انڊسٽري ڪيئن گيسز استعمال ڪري ٿو
گئس جي تقسيم واري نظام جي تعمير کي منصوبابندي ڪرڻ جي ڪوشش کان پهريان، اهو ضروري آهي ته گهٽ ۾ گهٽ سيمڪنڊيٽرڪٽر جي بنيادي ڳالهين کي سمجهڻ گهرجي. ان جي بنيادي طور تي، سيمڪونڊسرز تي گيسس کي انتهائي ڪنٽرول واري انداز ۾ ويجهڙائي ۾ گيسز استعمال ڪندا آهن. اهي جمع ڪيل سولڊس اضافي گيسس، ليزر، ڪيميائي ايچٽز متعارف ڪرائڻ سان پوء تبديل ڪيا ويندا آهن. وسيع عمل ۾ قدم آهن:
جمع ڪرائڻ: اهو شروعاتي سلڪون وفر ٺاهڻ جو عمل آهي. سلڪون پريسر گيسس هڪ ويڪيوم جمع ڪرائڻ واري چيمبر ۾ پمپ ڪيو ويندو آهي ۽ ڪيميائي يا جسماني گفتگو ذريعي پتلي سلڪون وانفر ٺاهيندا آهن.
فوٽووليوٿوگرافي: فوٽو سيڪشن ليسرز کي رد ڪري ٿو. اعلي انتهائي الٽراوائلٽ لٿوگرافي (EUV) اسپيڪٽرم کي اعلي وضاحت چپن ٺاهڻ لاء استعمال ڪيو ويو، هڪ ڪاربان ڊاء آڪسائيڊڊ ليور ۾ مائڪرو فيڪس سرڪٽ کي يڪفرري ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي.
ايچنگ: ايچنگ پروسيس دوران اهو عمل موثر طور تي ليزر ڇپيل سرپرستي کي سبسٽرٽ تي گهيرو ڪري ٿو.
ڊنگنگ: اهو هڪ اضافي قدم آهي جيڪو ايٽمي سطح جي چالبازيت کي تبديل ڪري ٿو، جنهن جي هيٺ ڏنل حالتن جي تعزيت کي طئي ڪري ٿي.
انيشلنگ: هن عمل ۾، وفر جي وچ ۾ ردعمل جي وچ ۾ رد عمل وڌايل دٻاء ۽ درجه حرارت سان. بنيادي طور تي، اهو پوئين عمل جي نتيجن کي حتمي شڪل ڏئي ٿو ۽ وفر ۾ حتمي پروسيسر ٺاهي ٿو.
چيمبر ۽ لائن صفائي: گذريل قدمن ۾ استعمال ٿيندڙ گئسون، خاص طور تي ۽ ڊنگنگ، اڪثر انتهائي زهر ۽ رد عمل آهن. تنهن ڪري، پروسيس چيمبر ۽ گيس جون لائينون کارائڻ جي ضرورت آهي ته نقصانڪار رد عمل کي گهٽائڻ لاء، ۽ ٻاهران ماحول کي ختم ڪرڻ لاء ڪنهن به آلودگي واري گيسن سان ڀرجي وڃڻ جي ضرورت آهي.
سيميٽرڪٽر انڊسٽري ۾ گئس جي سزائون اڪثر مختلف گيسن جي وهڪري ۽ گئس جي وهڪري جو سخت ڪنٽرول، درجه حرارت ۽ دٻاء جو تنگ ڪنٽرول آهي. اهو عمل ۾ هر گئس لاء الٽرا-هاء پاڪائي جي ضرورت آهي. پوئين قدم ۾ گئسون يا چيمبرن ۽ چيمبرن کان ٻاهر ڪ out ڻ گهرجن يا ٻي صورت ۾ اهو عمل شروع ٿيڻ کان اڳ غير جانبدار ٿي سگهي ٿو. ان جو مطلب آهي ته ولڊ ٿيل پيغامن جي سسٽم ۽ نبضن جي سسٽم ۽ نبن جي وچ ۾ نکقدار نظام ۽ نبضن جي وچ ۾ ڊزائين، اندروني تعداد ۽ سيلنگ جو نظام، گڏيل حصو ۽ سيلائيات جي وچ ۾ ڊ VIPTESs
ان کان علاوه، صفائي واري ڪمري جي ٻاهرين گيسس ۽ خاص گيسز کي صاف ڪمري واري ماحول ۾ بليڪ روم جي ماحول ۾ ليس ۽ خاص محدود علائقا کي حادثاتي رسالي جي صورت ۾ ڪيمرل جي فراهمي سان. اهڙي پيچيده ماحول ۾ اهي گيس سسٽم ويلڊنگ ڪو آسان ڪم ناهي. بهرحال، تفصيل سان، تفصيل ۽ صحيح سامان تي ڌيان ڏيڻ، اهو ڪم ڪاميابي سان پورو ٿي سگهي ٿو.
سيمڪنڊيٽرڪ انڊسٽري ۾ گئس جي تقسيم جو نظام ٺاهيندي
سيمڪنڊيٽرس گيس جي تقسيم ۾ استعمال ٿيل مواد انتهائي متغير آهن. انهن ۾ شيون شامل ڪري سگھن ٿا پي ٽي ايفز لائيٽ ڌاتو پائپ ۽ نلين کي انتهائي سنوارڻ واري گيسن جي مزاحمت ڪرڻ لاء. عام طور تي عام مواد سيمڪنڊيٽرڪ انڊسٽري ۾ استعمال ٿيندڙ عام مقصد جي سطح تي 316 ايل اسٽينلیس اسٽيل آهي - هڪ گهٽ ڪاربان اسٽينلیس اسٽيل. جڏهن اهو 316 ايل جي مقابلي ۾ 316 تائين اچي ٿو، 316 ايل انٽرنورينر ڪورسن کي وڌيڪ مزاحمتي آهي. اهو هڪ اهم غور آهي جڏهن انتهائي رد عمل ۽ ممڪن طور تي نازڪ گيسن جي حد سان معاملو ڪيو وڃي ٿو جيڪو ڪاربان کي ڪاربان ڪري سگهي ٿو. ويلڊنگ 316L اسٽينلیس سٹیل گهٽ ڪاربان جي تڪميل کي جاري ڪري ٿو. اهو پڻ اناج جي حد کان گهٽ ۾ گهٽ گهٽ ۾ گهٽ ڪندو آهي، جنهن فينز ۾ بيٺل ۽جلس ۾ اڀار ڪري سگهي ٿو.
پراڊڪٽ لائن لائنز ۽ آلودگي جي وڪري جي وڪري جي وڪري واري گيس جي وڪري واري گئس شيلڊنگ گئس ۽ ٽنگسٽن گئس جي شيلڊس ۾ ويلز گئس جي شيلڊز ۾ ويلڊس ريلز سان گڏ صرف ويلڊنگ جو عمل جيڪو ڪنٽرول پائپنگ ۾ هڪ اعلي پاڪائي ماحول کي برقرار رکڻ جي ضرورت آهي. خودڪار مدار جي ويلڊنگ سيمڪنڊرٽر گيس جي تقسيم ۾ موجود آهي
پوسٽ جو وقت: جول 18-2023